Unser Kunde ist dabei seine eigene Fab Management Software zu erstellen. Es basiert auf einer modernen Datenbank und einem aktuellen Message Bus System zur Verteilung der Kommunikation. Hier fehlt jedoch die SECS/GEM Kommunikation zu den einzelnen Anlagen und das Know-How über die Einbindung von Anlagen, die eine auf SEMI Standards basierende Fabrikschnittstelle aufweisen. Als erstes sollte die Dicing Saw von Disco angebunden werden. Hier kommt unsere Erfahrung für andere Kunden zum tragen, die ebenfalls ihr Fab Management System in Eigenregie erstellen und betreiben. Wir haben in der Implementierung von folgenden Kernkomponenten eines solchen Systems mitgewirkt oder maßgeblich implementiert:

• Los-Validierung und Los-Tracking
• Benutzer Validierung
• Wafer Validierung
• Rezept Management
• SECS/GEM Kommunikation
• Logging
• FDC (Failure Detection Control)
• Run2Run
• Anlagenkontrolle
• Prozess Historie
• Graphische Live-Darstellung von Prozesswerten

Wir haben über 22 Anlagentypen integriert. Dazu gehören

• EVG WaferBonder
• Disco Dicing Saw DFD6340
• Disco Grinder DFG8000
• DNS (Screen) CW1500 Entlacker + Nassätzanlage
• Evatec Radiance Sputter
• Picosun ALD
• Firebird ALD
• PlasmaTherm Versaline DryEtch
• PVA TePla Plasma380
• PlasmaTherm LAPECVD
• Süss Gamma Belacker + Belichter
• AccreTech CMPTool ChaMP211
• AccreTech Prober UF200
• Amat P5000/Centura CVD
• Atlas AOI
• Bruker AFM
• Park System AFM
• Promicron MCS
• Evatec BAK
• Onto IVS200
• Veeco SSEC Stripper
• Siconnex SAT SST

Weitere Integrationen sind in der Planung.

Haben Sie auch die Ambition Ihr eigenes, auf Ihre Fab zugeschnittenes Management System zu erstellen? Dann finden Sie bei uns kompetente Ansprechpartner!